从20世纪80年代初算起,CVD(化学气相沉积)金刚石技术的研究热潮已经过了四十个年头,CVD金刚石沉积技术、加工技术和应用技术得到了快速发展。但和HPHT(高温高压)制备技术相比,尽管CVD法制备出的金刚石性能更优异,但成本高、加工难度大,限制了应用的推广和普及,专业从事CVD金刚石沉积设备和产品的企业也远少于做HPHT金刚石的企业。
近年来,半导体行业的加速发展催生了对高品质金刚石的期待,CVD金刚石的优越性显现,再加上低成本制备技术和加工技术的开发,再一次形成了CVD金刚石发展热潮,一批高科技、高水准的CVD金刚石企业应运而生,来自中国山城的重庆启晶科技发展有限公司(以下简称“启晶科技”)就是其中之一。
2023年3月下旬,中国超硬材料网记者走进山城重庆,专访启晶科技总经理程衍喆、副总经理张大为,围绕企业成长、发展困境、未来企业规划等话题展开交流。
磨难中 见成长
和行业内拥有多年发展经验的企业相比,启晶科技在人造金刚石领域属实年轻,成立至今不过四年时间。然而,就在这期间,启晶科技攻坚克难,瞄准金刚石半导体领域应用,自主研发出直径大于四英寸、厚度约为0.1-2毫米的金刚石晶圆片,与国内知名下游企业展开合作,走在了科技发展的前沿。
自古英雄多磨难,企业亦如是。启晶科技是一家专做CVD金刚石产品和设备的企业,2019年6月成立于重庆。谈及为何选择重庆发展CVD金刚石,程衍喆解释道,“重庆西永微电子产业园区有西部硅谷之称,是重庆市经济发展和对外开放的重要平台。受当地政府提供的营商环境和发展优势吸引,我们决定落地重庆西永微电子产业园,并于上海进博会与政府签约三方投资协议落地。”
同年,公司香港团队自主研发的915MHz微波等离子体CVD沉积设备已研制成功,初出茅庐的启晶科技正准备大展拳脚,却迎来了三年之久的疫情黑天鹅。启晶科技见状及时调整策略,组织重庆本地团队进行MPCVD技术培训,待机器设备和技术团队归位后快速开展金刚石晶圆片的研发,最终在2021年10月成功研制成一批直径为4英寸(大于10厘米)、厚度约为300微米的CVD金刚石晶圆片,随后通过半年时间沉淀,技术日趋成熟,成为国家首家用微波等离子体CVD技术量产4英寸金刚石晶圆片的企业,填补国内市场空白。
核心产品的成功研制为这个年轻的团队注入了强心针,加快做好做强CVD金刚石产品的信心也更加坚定。无独有偶,2022年疫情防控、高温停电等外部冲击再次来袭,启晶科技选择了专注“做内功、搞研发”,与国内多所科研院校深度绑定,在散热、单晶、电子级、光学级等方面深入项目交流。现在,启晶科技已经可以研制出6英寸的金刚石晶圆片,第二代自主研发的MPCVD设备预计今年将正式投入使用。
敢担当 重实效
采访交流中,我们能切实地感受到启晶科技的创新活力、团队凝聚力和家国情怀。他们真诚而直接,坦荡且从容。他们攻坚克难,填补市场空白;他们团结互助,共御疫情风险;他们倾听党的号召,用科技前沿诠释心中强国梦。
不同于大多数企业选择的上市融资发展路径,启晶科技从一开始就强调不急于走这条道路,不被资本力量裹挟,真真正正地做出前沿产品,为中国CVD金刚石行业做出一些贡献、干出一些实事儿才是启晶科技内心最深处的渴望。但启晶科技作为一家科创型企业,研发创新是企业立足之本,研发经费投入强度大,持续稳定的资金供给成为了企业发展的关键。
“在这里要感谢重庆市政府和园区的支持,感谢我们的投资人,我们庆幸有这样一群伙伴给我们力量,让我们安心搞研发、做产品。”程衍喆讲到。据了解,启晶科技是由重庆市商务委港澳台处、与西永微电子产业园重点考察引进,香港六晶科技有限公司、华仕国际有限公司和深圳市浦盈通控股有限公司共同投资成立。
除此以外,启晶科技也在大力推动4英寸金刚石晶圆片的量产,力图在金刚石半导体领域应用方面打开缺口,实现资金回流。目前,全球竞争日益加剧,中国半导体产业突围迫在眉睫。在程衍喆看来,金刚石作为业内公认的终极半导体材料,金刚石企业需要有一定的社会责任,将产品做到更好的级别,不搞盲目逐利,不搞价格竞争,不搞快速圈钱,在合适的阶段做合适的事情,这样的企业盈利才更有意义。
一代人有一代人的使命,无数老一辈的超硬人辛勤耕耘六十载,参与和见证了我国人造金刚石行业从无到有、从小到大的整个历程,启晶科技作为成长起来的年轻一代,将成为这支队伍中新的强有力的担当,开拓金刚石半导体领域应用方面。做中国CVD金刚石行业的领跑者,立足重庆,面向全国,启晶科技正在将他们的美好愿景变为现实,奋力书写中国CVD金刚石行业发展新篇章。