Iplas:致力于为CVD金刚石企业提供技术解决方案

关键词 金刚石 , CVD|2019-11-19 11:11:25|来源 Carbontech
摘要 iplas是德国一家专注于基于独特的CYRANNUS®等离子源的高产率金刚石CVD设备的公司和团队。于1997年由-Ing.HildegardSung-Spitzl博士和Dr.Ra...

iplas是德国一家专注于基于独特的CYRANNUS®等离子源的高产率金刚石CVD设备的公司和团队。于1997年由-Ing. Hildegard Sung-Spitzl博士和Dr. Ralf Spitzl. 博士创立。公司的长期战略是高度关注客户应用的生产率。此类最高技术解决方案的基础是开放和可信赖的合作关系,这些客户始终受到最大程度的机密性保护。公司致力于为企业的CVD金刚石从研究到工厂投产的各个方面提供帮助。


产品系列:

1. CYRANNUS®CVD系统

(1)用于钻石和其他产品的微波激发等离子体CVD系统

(2)从小单位到全工厂的生产系统

(3)针对高端应用和创新的定制研发系统


2. 服务

(1)工厂交付

(2)流程指导

(3)生产培训中心

(4)实验室租赁


3. 材料

(1)样品生产

(2)种子材料

 

性能:

1. 反应器类型

(1)频率:915MHz;功率:5-100kW(根据不同应用);适用于大规模和气体化学反应,典型沉积范围:Ø150-300mm

(2)2.45GHz,功率:可根据要求和应用提供6kW或更高的功率,典型沉积范围:Ø50-100mm

(4)其他:5.8GHz或9.4GHz

2. 特点:

(1)最佳场密度与沉积面积(效率)的关系

(2)基板的原位z操纵

(3)原位偏置

3. 操作模式

(1)具有工厂控制的自动化系统

(2)用于小规模生产和研发的半自动化系统


金刚石:

所有CYRANNUS®系统的所有类型……

(1)单晶生长(同质外延,异质外延,电子级等)

(2)微晶膜(从微米级到纳米级;高度取向)

(3)纳米/超纳米晶金刚石膜

(4)石墨烯,碳纳米壁等


其他应用:

iplas等离子工艺涵盖了独特的不同应用范围,以下仅为CYRANNUS®技术在金刚石方面的能力:

(1)大小可控制的大量纳米粒子

(2)等离子风洞,用于太空船再入模拟

(3)各种化合物的等离子化学

(4)用于生物相容性或蚀刻的超快饱和表面处理


方法:

iplas在德国拥有超过20年的研发经验,拥有全面的流程和应用知识。我们的解决方案不只是一组技术特性,它们是针对具体实际需求的特定解决方案。

(1)专注于业务和技术→优化商业解决方案

(2)完全同步的技术,同时执行

-CVD工艺知识→提高产量

-最高的自动化水平→可靠性和控制性

-德国工程→值得信赖的坚固性和耐用性


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