iplas是德国一家专注于基于独特的CYRANNUS®等离子源的高产率金刚石CVD设备的公司和团队。于1997年由-Ing. Hildegard Sung-Spitzl博士和Dr. Ralf Spitzl. 博士创立。公司的长期战略是高度关注客户应用的生产率。此类最高技术解决方案的基础是开放和可信赖的合作关系,这些客户始终受到最大程度的机密性保护。公司致力于为企业的CVD金刚石从研究到工厂投产的各个方面提供帮助。
产品系列:
1. CYRANNUS®CVD系统
(1)用于钻石和其他产品的微波激发等离子体CVD系统
(2)从小单位到全工厂的生产系统
(3)针对高端应用和创新的定制研发系统
2. 服务
(1)工厂交付
(2)流程指导
(3)生产培训中心
(4)实验室租赁
3. 材料
(1)样品生产
(2)种子材料
性能:
1. 反应器类型
(1)频率:915MHz;功率:5-100kW(根据不同应用);适用于大规模和气体化学反应,典型沉积范围:Ø150-300mm
(2)2.45GHz,功率:可根据要求和应用提供6kW或更高的功率,典型沉积范围:Ø50-100mm
(4)其他:5.8GHz或9.4GHz
2. 特点:
(1)最佳场密度与沉积面积(效率)的关系
(2)基板的原位z操纵
(3)原位偏置
3. 操作模式
(1)具有工厂控制的自动化系统
(2)用于小规模生产和研发的半自动化系统
金刚石:
所有CYRANNUS®系统的所有类型……
(1)单晶生长(同质外延,异质外延,电子级等)
(2)微晶膜(从微米级到纳米级;高度取向)
(3)纳米/超纳米晶金刚石膜
(4)石墨烯,碳纳米壁等
其他应用:
iplas等离子工艺涵盖了独特的不同应用范围,以下仅为CYRANNUS®技术在金刚石方面的能力:
(1)大小可控制的大量纳米粒子
(2)等离子风洞,用于太空船再入模拟
(3)各种化合物的等离子化学
(4)用于生物相容性或蚀刻的超快饱和表面处理
方法:
iplas在德国拥有超过20年的研发经验,拥有全面的流程和应用知识。我们的解决方案不只是一组技术特性,它们是针对具体实际需求的特定解决方案。
(1)专注于业务和技术→优化商业解决方案
(2)完全同步的技术,同时执行
-CVD工艺知识→提高产量
-最高的自动化水平→可靠性和控制性
-德国工程→值得信赖的坚固性和耐用性